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一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
专利名称: 一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
专利名称英文:
专利类别: 发明
申请号: 200710037163.7
专利号:
申请日期: 2007-2-6
第一发明人: 王良咏
第一发明人英文:
其他发明人: 张楷亮、宋志裳、封松林
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期: 2009-4-15
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注: 专利权变更为上海新安纳电子科技有限公司2012-5-14
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期: