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一种厚膜氮化镓与衬底蓝宝石自剥离的实现方法
专利名称: 一种厚膜氮化镓与衬底蓝宝石自剥离的实现方法
专利名称英文:
专利类别: 发明
申请号: 200910046376.5
专利号:
申请日期: 2009-2-20
第一发明人: 王新中
第一发明人英文:
其他发明人: 于广辉、林朝通、曹明霞、卢海峰、李晓良、巩航、齐鸣、李爱珍
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期: 2010-9-1
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注: 专利权变更成德泓(福建)光电科技有限公司2011-7-15
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期: