2025年7月12日 星期六
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一种测试加速度,压力和温度的集尘硅芯片及制作方法
专利名称: 一种测试加速度,压力和温度的集尘硅芯片及制作方法
专利类别: 发明
申请号: 200910051766.1
申请日期: 2009-5-22
第一发明人: 李昕欣
其他发明人: 王权
专利授权日期: 2012-9-5
其他备注: 授权