2025年5月19日 星期一
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制备相变材料的溅射靶材的方法
专利名称: 制备相变材料的溅射靶材的方法
专利类别: 发明
申请号: 200910196760.3
申请日期: 2009-9-29
第一发明人: 宋志棠
其他发明人: 陈邦明、宋三年
专利授权日期: 2011-4-20
其他备注: 授权