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一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法

专利名称:	一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	201010022997.2
专利号:
申请日期:	2010-1-19
第一发明人:	汪海波
第一发明人英文:
其他发明人:	刘卫丽、宋志棠
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:	2012-5-30
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	授权，专利申请权变更为上海新安纳电子科技有限公司2012-4-27
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:

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