2025年5月8日 星期四
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一种绝缘体上应变硅制备方法
专利名称: 一种绝缘体上应变硅制备方法
专利类别: 发明
申请号: 201010223281.9
申请日期: 2010-7-7
第一发明人: 张苗
其他发明人: 张波、王曦、薛忠营、魏星、武爱民
专利授权日期: 2011-12-14
其他备注: 授权