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在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法

专利名称:	在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	201010240609.8
专利号:
申请日期:	2010-7-27
第一发明人:	李昕欣
第一发明人英文:
其他发明人:	王家畴
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:	2013-3-6
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	授权
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期: