2025年7月15日 星期二
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一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法
专利名称: 一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法
专利类别: 发明
申请号: 201110120151.7
申请日期: 2011-5-6
第一发明人: 李四华
其他发明人: 吴亚明
专利授权日期: 2013-8-21
其他备注: 授权