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基于(111)单晶硅片的高谐振频率高冲击加速度计及制作方法

专利名称:	基于(111)单晶硅片的高谐振频率高冲击加速度计及制作方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	201410638056X？
专利号:
申请日期:	2014-11-13
第一发明人:	李昕欣
第一发明人英文:
其他发明人:	邹宏硕; 王家畴; 张鲲
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	受理
其他备注英文:
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国外授权日期:

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