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一种包含双氧化剂的GST 化学机械抛光液及其制备方法和用途

专利名称:	一种包含双氧化剂的GST 化学机械抛光液及其制备方法和用途
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	2014106103656？
专利号:
申请日期:	2014-11-3
第一发明人:	闫未霞
第一发明人英文:
其他发明人:	刘卫丽; 宋志棠
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	受理
其他备注英文:
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专利摘要:
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