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应力可调的悬浮应变薄膜结构及其制备方法

专利名称:	应力可调的悬浮应变薄膜结构及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	201410328962X？
专利号:
申请日期:	2014-7-11
第一发明人:	狄增峰
第一发明人英文:
其他发明人:	孙高迪; 陈达; 郭庆磊; 叶林; 董林玺; 张苗
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	受理
其他备注英文:
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国外授权日期:

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