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一种半绝缘表面等离子体波导太赫兹量子级联激光器的制作方法

专利名称:	一种半绝缘表面等离子体波导太赫兹量子级联激光器的制作方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	2014104589481？
专利号:
申请日期:	2014-9-10
第一发明人:	万文坚
第一发明人英文:
其他发明人:	曹俊诚
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	受理
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期: