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基于超薄绝缘层SOI 上的MOSFET 背栅生物传感器及其制备方法

专利名称:	基于超薄绝缘层SOI 上的MOSFET 背栅生物传感器及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	2015101412427？
专利号:
申请日期:	2015-3-27
第一发明人:	刘畅
第一发明人英文:
其他发明人:	俞文杰; 文娇; 赵清太; 王曦
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	受理
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专利摘要:
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