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局域供碳装置及局域供碳制备晶圆级石墨烯单晶的方法
专利名称: 局域供碳装置及局域供碳制备晶圆级石墨烯单晶的方法
专利名称英文:
专利类别: 发明
申请号: 2015101897451?
专利号:
申请日期: 2015-4-20
第一发明人: 吴天如
第一发明人英文:
其他发明人: 张学富; 卢光远; 杨超; 王浩敏; 谢晓明;江绵恒
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注: 受理
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专利摘要:
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国外授权日期: