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一种氮化硼衬底表面台阶刻蚀方法

专利名称:	一种氮化硼衬底表面台阶刻蚀方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	2015103071554？
专利号:
申请日期:	2015-6-5
第一发明人:	王浩敏
第一发明人英文:
其他发明人:	谢红; 贺立; 王慧山; 陈令修; 李蕾; 吴天如; 张道礼; 谢晓明; 江绵恒
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	受理
其他备注英文:
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专利摘要:
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国外授权日期:

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