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一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法

专利名称:	一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法
专利名称英文:
专利类别:	发明
申请号:	2015104431186？
专利号:
申请日期:	2015-7-24
第一发明人:	于海涛
第一发明人英文:
其他发明人:	李昕欣; 许鹏程; 王家畴; 包宇洋
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:	受理
其他备注英文:
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专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:

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