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一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法

专利名称:	一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2017100313654？
专利号:
申请日期:	2017/1/17
第一发明人:	倪藻
第一发明人英文:
其他发明人:	李昕欣; 李伟
其他发明人英文:
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实施情况:
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