2025年7月10日 星期四
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一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法
专利名称: 一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法
申请号: 2017100313654?
申请日期: 2017/1/17
第一发明人: 倪藻
其他发明人: 李昕欣; 李伟