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单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法

专利名称:	单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2017100672017？
专利号:
申请日期:	2017/2/7
第一发明人:	李伟
第一发明人英文:
其他发明人:	周晓峰; 车录锋
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国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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