2025年7月8日 星期二
专利库
  
单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法
专利名称: 单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法
申请号: 2017100672017?
申请日期: 2017/2/7
第一发明人: 李伟
其他发明人: 周晓峰; 车录锋