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基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法

专利名称:	基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2017114052819？
专利号:
申请日期:	2017/12/22
第一发明人:	冯飞
第一发明人英文:
其他发明人:	田博文; 李昕欣
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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专利授权日期:
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实施情况:
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专利摘要:
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