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ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法

专利名称:	ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2017114224213？
专利号:
申请日期:	2017/12/25
第一发明人:	张凯莉
第一发明人英文:
其他发明人:	沈大伟; 向兀; 刘吉山; 刘正太; 刘中灏; 樊聪聪; 刘万领; 卢祥乐
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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专利摘要:
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