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单晶压电薄膜异质衬底的制备方法

专利名称:	单晶压电薄膜异质衬底的制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2018101076538？
专利号:
申请日期:	2018/2/2
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	鄢有泉; 黄凯; 游天桂; 王曦
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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