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一种适用于MEMS谐振式传感器的闭环驱动电路

专利名称:	一种适用于MEMS谐振式传感器的闭环驱动电路
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2018102410263
专利号:
申请日期:	2018/3/22
第一发明人:	熊斌
第一发明人英文:
其他发明人:	刘松梁亨茂徐德辉
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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