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MEMS微执行器、原位单轴拉伸器件及其制作方法

专利名称:	MEMS微执行器、原位单轴拉伸器件及其制作方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2018104005996？
专利号:
申请日期:	2018/4/28
第一发明人:	王跃林
第一发明人英文:
其他发明人:	杨洋; 张啸; 李铁
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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专利摘要:
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