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基于应力补偿制备柔性单晶薄膜的方法及柔性单晶薄膜

专利名称:	基于应力补偿制备柔性单晶薄膜的方法及柔性单晶薄膜
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	201810942371X
专利号:
申请日期:	2018/8/17
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	张师斌；周鸿燕；黄凯；王成立；王曦；
其他发明人英文:
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专利授权日期:
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实施情况:
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