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多层六方氮化硼薄膜的制备方法

专利名称:	多层六方氮化硼薄膜的制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2018111021122
专利号:
申请日期:	2018/9/20
第一发明人:	时志远
第一发明人英文:
其他发明人:	吴天如；卢光远；王秀君；张超；王浩敏；谢晓明；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
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专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:

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