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一种利用离子注入实现目标薄膜纵向均匀掺杂的方法

专利名称:	一种利用离子注入实现目标薄膜纵向均匀掺杂的方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2018115642574
专利号:
申请日期:	2018/12/20
第一发明人:	吕越
第一发明人英文:
其他发明人:	黄浩；贾棋；游天桂；伍文涛；欧欣；高波；王镇；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
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专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:

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