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一种集成结构的制备方法以及由此得到的铜互连线与介质材料集成结构

专利名称:	一种集成结构的制备方法以及由此得到的铜互连线与介质材料集成结构
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	201910340421.1
专利号:
申请日期:	2019/4/25
第一发明人:	黄亚敏
第一发明人英文:
其他发明人:	董业民
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实施情况:
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