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用于制作透明导电氧化物薄膜的镀膜设备及镀膜方法

专利名称:	用于制作透明导电氧化物薄膜的镀膜设备及镀膜方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2019106512311
专利号:
申请日期:	2019/7/18
第一发明人:	石建华
第一发明人英文:
其他发明人:	孟凡英；刘正新；
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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专利摘要:
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