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基于 AlMn 合金超导薄膜的TES 微量能器及制备方法
专利名称: 基于 AlMn 合金超导薄膜的TES 微量能器及制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2019107451349
专利号:
申请日期: 2019/8/13
第一发明人: 伍文涛
第一发明人英文:
其他发明人: 吕越;陈建国;梁恬恬;王沪兵;高波;王镇;
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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专利摘要:
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