2025年5月19日 星期一
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高通量气相沉积设备及气相沉积方法
专利名称: 高通量气相沉积设备及气相沉积方法
申请号: 2019107594037
申请日期: 2019/8/16
第一发明人: 李卫民
其他发明人: 俞文杰;朱雷;王轶滢;