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高通量气相沉积设备及气相沉积方法

专利名称:	高通量气相沉积设备及气相沉积方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2019107594037
专利号:
申请日期:	2019/8/16
第一发明人:	李卫民
第一发明人英文:
其他发明人:	俞文杰；朱雷；王轶滢；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
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专利摘要:
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国外授权日期:

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