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衬底上薄膜的制备方法

专利名称:	衬底上薄膜的制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2019108283976
专利号:
申请日期:	2019/9/3
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	李忠旭；黄凯；赵晓蒙；李文琴；陈阳；聂峥；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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