一种带底电极的硅基钽酸锂单晶薄膜衬底及其制备方法和应用
| 专利名称: |
一种带底电极的硅基钽酸锂单晶薄膜衬底及其制备方法和应用 |
| 专利名称英文: |
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| 专利类别: |
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| 申请号: |
2019110818847 |
| 专利号: |
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| 申请日期: |
2019/11/7 |
| 第一发明人: |
欧欣 |
| 第一发明人英文: |
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| 其他发明人: |
鄢有泉,黄凯,赵晓蒙,李忠旭,陈阳,游天桂 |
| 其他发明人英文: |
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| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 国外申请方式英文: |
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| 专利授权日期: |
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| 缴费情况: |
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| 缴费情况英文: |
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| 实施情况: |
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| 实施情况英文: |
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| 其他备注: |
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| 其他备注英文: |
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| 专利证书号: |
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| 专利摘要: |
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| 专利摘要英文: |
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| 国外授权日期: |
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