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三维集成层间光互联结构及形成方法
专利名称: 三维集成层间光互联结构及形成方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2019112439845
专利号:
申请日期: 2019/12/6
第一发明人: 欧欣
第一发明人英文:
其他发明人: 李忠旭;黄凯;陈阳;赵晓蒙;鄢有泉;
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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缴费情况:
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实施情况:
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