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一种相变材料的干法刻蚀方法

专利名称:	一种相变材料的干法刻蚀方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020100589670
专利号:
申请日期:	2020/1/19
第一发明人:	许永康
第一发明人英文:
其他发明人:	宋三年,宋志棠
其他发明人英文:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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