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一种重掺杂型硅基薄膜的制备方法和由此得到的薄膜及其应用

专利名称:	一种重掺杂型硅基薄膜的制备方法和由此得到的薄膜及其应用
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202010140012.X
专利号:
申请日期:	2020/3/3
第一发明人:	张丽平
第一发明人英文:
其他发明人:	李振飞，刘正新，孟凡英，石建华，韩安军，杜俊霖
其他发明人英文:
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