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一种Ta-Ge-Sb-Te相变材料及其制备方法和相变存储器单元

专利名称:	一种Ta-Ge-Sb-Te相变材料及其制备方法和相变存储器单元
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202010225608X
专利号:
申请日期:	2020/3/26
第一发明人:	薛媛
第一发明人英文:
其他发明人:	宋三年,宋志棠
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国外申请方式:
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专利授权日期:
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实施情况:
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