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一种用于SNSPD器件纳米线结构的双层胶剥离方法
专利名称: 一种用于SNSPD器件纳米线结构的双层胶剥离方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 202010277519X
专利号:
申请日期: 2020/4/10
第一发明人: 汤演
第一发明人英文:
其他发明人: 刘晓宇,李浩,尤立星
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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其他备注:
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专利摘要:
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