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一种Si基InGaAs光电探测器的制备方法及光电探测器

专利名称:	一种Si基InGaAs光电探测器的制备方法及光电探测器
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020105071244
专利号:
申请日期:	2020/6/5
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	欧欣，池超旦，林家杰，游天桂
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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缴费情况:
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实施情况:
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专利摘要:
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