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一种基于离子束增强腐蚀的压电晶圆表面处理方法

专利名称:	一种基于离子束增强腐蚀的压电晶圆表面处理方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020105533811
专利号:
申请日期:	2020/6/17
第一发明人:	黄凯
第一发明人英文:
其他发明人:	欧欣,赵晓蒙,李忠旭,陈阳
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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