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基于同一衬底制备不同厚度薄膜的方法及其结构、及应用器件

专利名称:	基于同一衬底制备不同厚度薄膜的方法及其结构、及应用器件
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020106083658
专利号:
申请日期:	2020/6/29
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	金婷婷,林家杰,游天桂,周鸿燕,张师斌
其他发明人英文:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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