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一种降低异质结构薄膜退火热应力的方法

专利名称:	一种降低异质结构薄膜退火热应力的方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020106026208
专利号:
申请日期:	2020/6/29
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	林家杰,游天桂,沈正皓,金婷婷
其他发明人英文:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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