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一种用于单晶生产炉的热屏装置、控制方法及单晶生产炉
专利名称: 一种用于单晶生产炉的热屏装置、控制方法及单晶生产炉
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2020106216823
专利号:
申请日期: 2020/7/1
第一发明人: 薛忠营
第一发明人英文:
其他发明人: 李名浩,魏星,栗展,魏涛,刘赟
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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其他备注:
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专利摘要:
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