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一种用于单晶硅生长炉的薄膜隔热片及单晶硅生长炉

专利名称:	一种用于单晶硅生长炉的薄膜隔热片及单晶硅生长炉
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020106250557
专利号:
申请日期:	2020/7/1
第一发明人:	魏星
第一发明人英文:
其他发明人:	魏涛,李名浩,栗展,刘赟,薛忠营
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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