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单片式混合集成声波谐振器阵列及其制备方法

专利名称:	单片式混合集成声波谐振器阵列及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020106314968
专利号:
申请日期:	2020/7/3
第一发明人:	欧欣
第一发明人英文:
其他发明人:	周鸿燕,张师斌,郑鹏程,黄凯,游天桂
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
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