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一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪

专利名称:	一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020230073464
专利号:
申请日期:	2020/12/15
第一发明人:	赵瑛璇
第一发明人英文:
其他发明人:	黄海阳,仇超,甘甫烷,盛振
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
实施情况英文:
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