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一种高性能硅基锗探测器及其制备方法

专利名称:	一种高性能硅基锗探测器及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2020115528114
专利号:
申请日期:	2020/12/24
第一发明人:	张轶锦
第一发明人英文:
其他发明人:	曹溪源,武爱民
其他发明人英文:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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