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一种用于氮化钛化学机械抛光的组合物及其使用方法

专利名称:	一种用于氮化钛化学机械抛光的组合物及其使用方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	202110102158X
专利号:
申请日期:	2021/1/26
第一发明人:	李程兴
第一发明人英文:
其他发明人:	蔡道林,刘卫丽,宋志棠,冯道欢
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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