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一种硅基光波导传感器及其制备方法

专利名称:	一种硅基光波导传感器及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2021102354072
专利号:
申请日期:	2021/3/3
第一发明人:	李寒月
第一发明人英文:
其他发明人:	武爱民,吴龙生,周悦,张轶锦
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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国外授权日期:

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