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基于氮化硅光子晶体的光分路器及其制备方法

专利名称:	基于氮化硅光子晶体的光分路器及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2021104599892
专利号:
申请日期:	2021/4/27
第一发明人:	佘小娟
第一发明人英文:
其他发明人:	廖涵；赵瑛璇；仇超；甘甫烷；
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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