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基于超表面结构的超导纳米线单光子探测器及其制备方法

专利名称:	基于超表面结构的超导纳米线单光子探测器及其制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号:	2021105129165
专利号:
申请日期:	2021/5/11
第一发明人:	韩海龙
第一发明人英文:
其他发明人:	李浩；尤立星；
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专利授权日期:
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实施情况:
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专利摘要:
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